וויכטיקייט פון הויך טעמפּעראַטור סענסער

אין די לעצטע יאָרן, מיין לאַנד 'ס סענסער טעכנאָלאָגיע איז קאַנווערינג ראַפּאַדלי, און די אַפּלאַקיישאַן פיעלדס זענען אויך יקספּאַנדיד. ווי די מערסט צייַטיק טיפּ פון מאָדערן מעזשערמאַנט טעכנאָלאָגיע, נייַ טעקנאַלאַדזשיז, נייַ - טעקנאַלאַדזשיז, נייַ מאַטעריאַלס און נייַ פּראַסעסאַז זענען קעסיידער ימערדזשינג אין די פּלאַץ פון דרוק סענסאָרס.

א דרוק סענסער איז אַ מיטל געניצט צו דעטעקט דרוק סיגנאַלז און גער זיי אין עלעקטריקאַל סיגנאַלז לויט עטלעכע כּללים. עס איז וויידלי געניצט אין פאַרשידן פּראָדוקציע, ינדאַסטריאַל און אַעראָספּייס פיעלדס. מיט די סאַבדיוויזשאַן פון אַפּלאַקיישאַן פיעלדס, די טעמפּעראַטור פון די קוואַליטעט פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור פון די טעמפּעראַטור איז נידעריקער ווי 120 ° C). ° C) וועט פאַרלאָזן, ריזאַלטינג דראַסטינג אויף מעאַסורעמענט דורכפאַל. דעריבער, דער סענסער הויך טעמפּעראַטור איז אַ זייער וויכטיק פאָרשונג ריכטונג.

קלאַסאַפאַקיישאַן פון הויך טעמפּעראַטורדרוק סענסאָרס

לויט די פאַרשידענע מאַטעריאַלס געוויינט, הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרס קענען זיין צעטיילט אין פּאָליסיליקאָן (פּאָלי-סי) הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרס, סאָ-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרס, סאָספאַרישאַן פון ינסאַליישאַן פון די קראַנט אַנטוויקלונג, די ינאַפּומאַן און סיליקאָן אויף סאָספאַרע דרוק. סוי הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרס זענען זייער ידעאַל. דער ווייַטערדיק דער הויפּט ינטראַדוסיז די סוי הויך טעמפּעראַטור דרוק סענסער.

סוי הויך טעמפּעראַטור דרוק סענסער

די אַנטוויקלונג פון סוי הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרס דער הויפּט רילייז אויף די העכערונג פון סוי מאַטעריאַלס. סאָאָ 2 ווי די סובליקאַל סטרוקטור פון סוי ינערוועלע. רילייאַבילאַטי פון די מיטל. אין דערצו, רעכט צו דער הויך-טעמפּעראַטור קעראַקטעריסטיקס פון די סוי מיטל שיכטע, עס ווערט אַן אידעאל מאַטעריאַל פֿאַר פּריפּערינג הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרס.

דערווייַל, סוי הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרס זענען הצלחה דעוועלאָפּעד אין אויסלאנד, און די אַרבעט טעמפּעראַטור איז -55 ​​° C; די 500 ° C סויף הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסער דעוועלאָפּעד דורך די גאָטרעאַן אַוואַנסירטע סענסער טעכנאָלאָגיע צענטער אין די פאַרייניקטע שטאַטן; the SOI high-temperature pressure sensor developed by the French LETI Institute also has a working temperature of more than 400°C.Domestic research institutions are also actively carrying out research on SOI high-temperature pressure sensors, such as Xi'an Jiaotong University, Tianjin University, and Peking University. אין אַדישאַן, די פאַטרי צוקונפֿט אַוואַנסירטע טעכנאָלאָגיע פֿאָרש אינסטיטוט פון פאַטרי איז אויך דורכפירן שייַכות פאָרשונג אַרבעט, און די קראַנט פּרויעקט איז אריין די דעמאַנסטריישאַן בינע.

ארבעטן פּרינציפּ פון סוי הויך טעמפּעראַטור דרוק סענסער

אין פּרינציפּ, די סוי הויך טעמפּעראַטור דרוק סענסער דער הויפּט ניצט די פּיעזאָרעסיסטיווע ווירקונג פון איין קריסטאַל סיליקאָן. ווען אַ שאַפונג פון די קאַריערז, וואָס איז אַ ספּעציעלע ריכטונג אויף די סוי שפּיץ מיטל שיכטע צו פאָרעם אַ ווייץטאָון בריק ווי געוויזן אין פיגורע 2 (אַ); א דרוק צוריק קאַוואַטי איז עטשעד אויף די סאָי סאַבסטרייט שיכטע אָפּעראַציע שיכטע צו פאָרעם אַ דרוק שפּירעוודיק סטרוקטור.

פיגורע 2 (אַ) ווייץסטאָון בריק

ווען די דרוק-שפּירעוודיק סטרוקטור איז אונטערטעניק צו לופט דרוק, די קעגנשטעל פון די פּייזאָרזשער ענדערונגען, וואָס אין קער ז די קעגנשטעל פון די קעגנשטעל, און דער דרוק פון די קעגנשטעל איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן, און די דרוק ווערט איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן, און דער דרוק ווערט איז געמאסטן דורך די שייכות צווישן די דינסט ווערט איז געמאסטן, און די דרוק ווערט איז געמאסטן דורך די שייכות צווישן די ראַזאַרעסיסטער קעגנשטעל, און דער דרוקאָרעסיסטאָר.

פאַבריקיישאַן פּראָצעס פון סוי הויך טעמפּעראַטור דרוק סענסער

דער צוגרייטונג פּראָצעס פון סוי הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסער ינוואַלווז קייפל מערן פּראַסעסאַז. עטלעכע שליסל סטעפּס זענען בעקיצער באַקענענ דאָ צו פֿאַרשטיין דעם סענסער פּראָצעס, דער הויפּט אַרייַנגערעכנט פּיעזאָרעסיססיסטיק צוגרייטונג, מעטאַל פירן צוגרייטונג, דרוק-שפּירעוודיק פילם צוגרייטונג און דרוק קאַמער פּאַקקאַגינג.

דער שליסל צו דער צוגרייטונג פון וואַריסטאָרס ליגט אין די קאָנטראָל פון די דאָפּינג קאַנסאַנטריישאַן און די אַפּטאַמאַזיישאַן פון די סאַבסאַקוואַנט עטשינג מאָלדינג פּראָצעס; די מעטאַל פירן שיכטע דער הויפּט סערוועס ווי די קשר פון די ווייץטאָנע בריק; דער צוגרייטונג פון די דרוק שפּירעוודיק פילם דער הויפּט פאַרלאָזנ אויף די טיף סיליקאַן עטשינג פּראָצעס; די פּאַקקאַגינג פון די קאַוואַטי יוזשאַוואַלי וועריז דיפּענדינג אויף די אַפּלאַקיישאַן פון די דרוק סענסער,

די קראַנט קאַמערשאַלייזד הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרס קענען נישט טרעפן די מעאַסורעמענט פון די דרוק מעאַסורעמענט, ווי הויך טעמפּעראַטורעס, צוקונפֿט פאָרשונג זענען ינווייראַנאַבאַל דרוק אויף הויך-טעמפּעראַטור דרוק. צוקונפֿט פאָרשונג אויף סוי הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרס זאָל פאָקוס אויף סאַלווינג די לאַנג-טערמין פעסטקייַט און זעלבסט-באַהיצונג פּראָבלעמס פון סענסאָרס אין הויך-טעמפּעראַטור האַרב ינווייראַנמאַנץ און פֿאַרבעסערן די אַקיעראַסי פון דרוק סענסאָרס. אַספּעקט.

Of course, the advent of the intelligent era also requires SOI high-temperature pressure sensors combined with other multidisciplinary technologies to bring more intelligent functions such as self-compensation, self-calibration, and information storage to the sensor, so as to better complete the mission of sensing complex high-temperature environmental pressure. .